Für Anwendungen im eXtrem-Ultra-Hoch-Vakuum 1E(-11) mbar

Für Anwendungen im eXtrem-Ultra-Hoch-Vakuum 1E(-11) mbar

Manuelle- und motorisierte Positioniersysteme und optische Strahlführungssysteme für bis zu eXtrem-Ultra-Hoch-Vakuum XUHV 1E(-11) mbar


Der Grundstein wurde 1980 mit der Standard-Produktreihe von Positionierern und optischen Komponenten gelegt. Anfang der 2000er begann OWIS, Produkte für Vakuumanwendungen in Druckbereichen von 1E(-6) mbar zu entwickeln. Seit 2009 ist die Vakuum-Produktlinie in das Standardsortiment bei OWIS integriert.
2017 hat OWIS diese Linie um das Ultra-Hoch-Vakuum mit 1E(-9) mbar erweitert. Zwei Jahre danach erschloss OWIS Druckbereiche von 1E(-11) mbar, das so genannte eXtrem-Ultra-Hoch-Vakuum. Ermöglicht wurde die Entwicklung der OWIS UHV und XUHV Produkte durch die Förderung des ZIM (Zentrales Innovationsprogramm des Mittelstandes) aufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages. Die Vakuum-Produktlinie umfasst unter anderem manuelle wie auch motorisierte Lineartische sowie optische Komponenten, Schienen und Reiter. Kundenspezifische Sonderbauten sind ebenfalls möglich. Die Einzelteile werden in den OWIS Reinräumen gesäubert, montiert, vermessen, getestet und verpackt.

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